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德國wika威卡壓力傳感器S-20

點擊次數(shù):2412次 更新時間:2017-08-23

德國wika威卡壓力傳感器型號S-10已經(jīng)推出十年,廣泛應(yīng)用于石油化工、液壓、電力等行業(yè)。S-20作為S-10的繼任者具有更佳的性價比。

德國wika威卡微壓傳感器在測量過程中,壓力直接作用在傳感器的膜片上,使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻發(fā)生變化,同時通過電子線路檢測這一變化,并轉(zhuǎn)換輸出一個對應(yīng)于這個壓力的標(biāo)準(zhǔn)信號,這樣的過程就是微壓傳感器進行測量的過程。

對于德國wika威卡壓力傳感器來說,靈敏度和線性度是微壓力傳感器zui重要的兩個性能指標(biāo)。為了制作出能夠滿足實際應(yīng)用需求的傳感器,必需探索出一種微壓力傳感器靈敏度和線性度的有效仿真方法。實際的研究中,發(fā)現(xiàn)一種基于對壓阻式壓力傳感器薄膜表面應(yīng)力的有限元分析(FEA)和路徑積分的仿真方法。通過這一方法實現(xiàn)了在滿量程范圍內(nèi)不同壓力值下對傳感器電壓輸出值的估計,在此基礎(chǔ)上對壓力傳感器的靈敏度和線性度進行了有效仿真。

德國wika威卡壓力傳感器發(fā)展迅速,新研制出的一類傳感器采用壓電單晶片結(jié)構(gòu),并內(nèi)置前置放大器,通過放大器放大微弱信號并實現(xiàn)阻抗變換,從而使傳感器具有量程小、靈敏度高、抗干擾性好等特點。德國wika威卡壓力傳感器已廣泛用于脈搏、管壁壓力波動等微小信號的檢測。但與此同時,對于微壓傳感器度的檢驗這一技術(shù)難題,就迫切需要簡便的測量裝置測量該類型傳感器的性能。

為了解決微壓力傳感器靈敏度和非線性的矛盾,在結(jié)構(gòu)上,綜合梁膜結(jié)構(gòu)與平膜雙島結(jié)構(gòu)的優(yōu)點,采用雙島-梁結(jié)構(gòu)。島區(qū)的面積不是按比例放大或縮小。首先,為了增加靈敏度,應(yīng)盡可能減小窄梁區(qū)的長度和寬度。因為從對“梁-膜-島”結(jié)構(gòu)的有限元分析和近似解析分析中發(fā)現(xiàn),減小窄梁區(qū)的長度和寬度可以明顯地使梁上的應(yīng)力增大。并且當(dāng)中間窄梁的長度約為兩邊窄梁長度的2倍時,器件的線性度。雖然有雙島限位結(jié)構(gòu),但在高過載情況下,德國wika威卡壓力傳感的硅膜將首先從島的邊區(qū)和角區(qū)破裂。這是因為傳統(tǒng)的島膜結(jié)構(gòu)都是采用常規(guī)的有掩模的各向異性濕法腐蝕,從硅片背面形成硅膜和背島。德國wika威卡壓力傳感的硅膜是晶面,邊框和背大島側(cè)面都是晶面,夾角為54.74°的銳角。根據(jù)力學(xué)原理,在角區(qū)存在應(yīng)力集中效應(yīng),使硅膜在正面或背面受壓以后,角區(qū)會具有應(yīng)力的極值,因此破裂首先從該處發(fā)生。引入應(yīng)力勻散結(jié)構(gòu)以后,使角區(qū)變成具有一定曲率的圓角區(qū),使該區(qū)的應(yīng)力極值下降。在硅膜與邊框或背島的交界處要形成有一定曲率半經(jīng)的緩變結(jié)構(gòu),德國wika威卡壓力傳感采用一般的常規(guī)各向異性濕法腐蝕是無法實現(xiàn)的。為此,采用了掩模-無掩模各向異性濕法腐蝕技術(shù)。

德國wika威卡壓力傳感器應(yīng)用

危險工業(yè)應(yīng)用
研發(fā)領(lǐng)域的高要求應(yīng)用
加工工業(yè)中的嚴(yán)苛環(huán)境

功能特性

測量范圍:0 ... 0.04至0 ... 160 MPa
非線性度:高達量程的0.125 %
不同輸出信號:4 ... 20 mA、DC 0 ... 10 V和DC 1 ... 5 V 等
標(biāo)準(zhǔn)電氣接口:DIN 175301-803 A赫斯曼接口

通用過程連接件

描述

適合一般工業(yè)應(yīng)用的S-20型壓力變送器是有高測量要求用戶的理想解決方案。該型號變送器準(zhǔn)確度高,不僅堅固耐用而且具備多種版本,可滿足各種的應(yīng)用要求。

多功能
S-20型變送器可提供從0 ... 0.04 MPa至0 ... 160 MPa的不同測量范圍,支持所有常見壓力單位。該型號變送器支持所有標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)輸出信號,并配有通用過程連接件以及各式電氣接口,使得用戶可選擇不同的測量范圍。此外,該型號變送器還提供了多種選項,如不同的準(zhǔn)確度等級、擴展溫度范圍以及客戶定制的引腳分配。

高品質(zhì)
S-20型壓力變送器采用耐用型設(shè)計,品質(zhì),即使在zui惡劣的環(huán)境條件下也能正常工作。該型號變送器可以滿足所有應(yīng)用要求,無論是在戶外低溫條件下、機械制造業(yè)的劇烈沖擊和震動環(huán)境中,還是化工領(lǐng)域的腐蝕介質(zhì)中。

可實用性
我們可提供本數(shù)據(jù)手冊中列舉的所有版本的變送器,并且可以在短時間內(nèi)完成交付。此外,我們庫存充足,可在*時間內(nèi)實現(xiàn)交付,滿足客戶迫切的應(yīng)用要求。

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